| Título: | Modelagem e simulação de microacelerômetro capacitivo |
| Autor: | Janderson Rocha Rodrigues |
| Programa: | Engenharia Aeronáutica e Mecânica |
| Área de Concentração: | Sistemas Aeroespaciais e Mecatrônica |
| Orientador : | Luiz Carlos Sandoval Góes |
| Coorientador : | Carlos Fernando Rondina Mateus |
| Ano de Publicação : | 2011 |
| Curso : | Mestrado Acadêmico |
| Assuntos : | Acelerômetros |
| t | Sistemas microeletromecânicos |
| t | Dispositivos eletromecânicos |
| t | Modelos matemáticos |
| t | Simulação computadorizada |
| t | Engenharia mecânica |
| t | Engenharia eletrônica |
| Resumo : | Este trabalho apresenta a modelagem e simulação de um microacelerômetro capacitivo de silício produzido pela técnica de fabricação em substrato. O princípio de funcionamento do dispositivo é apresentado, assim como, suas características geométricas oriundas do processo de microfabricação. Utilizou-se a descrição generalizada para identificar e subdividir os elementos físicos do dispositivo em termos de suas funcionalidades. Por meio dessa metodologia identificou-se o elemento sensor elástico, o elemento sensor capacitivo e o condicionamento de sinal. As modelagens analíticas estática e dinâmica dos elementos sensores são apresentadas e os modelos obtidos são simulados usando o programa Matlab/Simulink®. A validade de cada modelo é discutida e os resultados obtidos são relacionados às principais especificações do dispositivo. O modelo geométrico tridimensional do microacelerômetro é simulado numericamente usando o programa COMSOL Multiphysics®. Os resultados obtidos numericamente são comparados com os analíticos e mostram uma excelente concordância, validando os modelos analíticos. . |
| Data de Defesa : | 29/08/2011 |
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